品牌hz类型直流开关电源 型号hz-zldy输入电压380（v） 输出功率10k~40k（w） 产品认证iso9001

直流磁控溅射电源

用途：

可适用于pvd、cvd技术以金属、半导体靶材制备高密度、高硬度、高亮度、高透明度的单质、化合物膜层。

特点：

1.采用的逆变技术和igbt功率开关器件设计

2.采用pwm控制技术、恒流特性好、电源控制精确

3.自动恒流输出，不随气压变化，提高沉积速率，工艺重复性好

4.抑制靶材弧光放电及抗短路功能，内置电子电抗，具有的负载匹配能力

5.led数码电流、电压显示、清晰直观

6.轻巧、高效、节能。同等功率比可控硅电源节约电能40%以上

7.模块化设计、全系列产品风冷长期稳定性好，可n+1备份、保障安全生产

8.可根据用户量身定做设计制造特种电源系统

主要技术项目：

型号type

项目item

dc—10kw

dc—20kw

dc—30kw

dc—40kw

输入电源电压频率（v、hz）三相四线

ac380+n

+15%,50/60

ac380+n

+15%,50/60

ac380+n

+15%,50/60

ac380+n

+15%,50/60

输出电流调节范围（a）

　0～15

0～30

0～45

0～60

稳流精度

≤1%

≤1%

≤1%

≤1%

额定输出电压（dcv）

200～1000

200～1000

200～1000

200～1000

负载持续率（%）

85

85

85

85

重量（kg）

25

35

40

70

外形尺寸（mm）

650(d)×480(w)×250(h)

860(d)×600(w)×600(h)

绝缘等级

b

b

b

b

效率（%）

90

90

90

90

功率因数cosφ

0.93

0.93

0.93

0.93

外壳防护等级

ip21

ip21

ip21

ip21

工作模式

恒压、恒流、恒功率可任意选择，常规恒流输出

外部接口

本系列产品，均可设微机式plc控制